（1）超精密加工过程
超精加工是用极细磨粒的油石进行光磨的一种光整加工。其加工对象多为轴类零件的外圆，亦可加工滚动轴承沟道及平面等。如图5．4．3所示，加工时，装有油石条的磨头以恒定压力P轻压于工件表面。工件以v= 10～15 m／min的速度旋转，磨头以0．1～0．15 mm／s的速度纵向进给，同时作往复振动，振动频率为1 000～1 400 s／min，振幅为3～5 mm。磨粒在工件上的运动轨迹应纵横交错而不重复。油石条与工件之间要注入润滑油（一般为煤油加锭子油），以清除屑末并形成油膜。工件表面微观凸峰首先被磨去，随着各处凸峰高度的减低，油石与工件的接触面积逐步加大，单位面积承受压力随之减小，当压力小于油膜表面张力时，油石与工件将被油膜分离，切削作用自行停止超精加工生产率很高。
图5．4．3 外圆的超精加工
（2）特点与应用
超精加工主要用于降低表面粗糙度，其值R a可达0．1～0．01，不能提高工件的尺寸精度和形位精度。因此，前工序无须留出余量。超精加工可在车床或外因磨床上安置专用磨头进行。大批量生产中，可在超精加工机床上进行。
